DIN 50441-5-2001 半导体技术试验.半导体片几何尺寸测定.第5部分:形状和平整度偏差术语
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时间:2024-05-09 21:01:43
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofthegeometricdimensionsofsemiconductorwafers-Part5:Termsofshapeandflatnessdeviation
【原文标准名称】:半导体技术试验.半导体片几何尺寸测定.第5部分:形状和平整度偏差术语
【标准号】:DIN50441-5-2001
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2001-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量;组件;测量技术;定义;形状错误;电子工程;半导体工艺;材料;试验;偏差;半导体;薄片;半导体片;元部件;半导体器件;平整度;尺寸;形状
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:01_040_29;29_045
【页数】:11P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体技术试验.半导体片几何尺寸测定.第5部分:形状和平整度偏差术语
【标准号】:DIN50441-5-2001
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2001-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:测量;组件;测量技术;定义;形状错误;电子工程;半导体工艺;材料;试验;偏差;半导体;薄片;半导体片;元部件;半导体器件;平整度;尺寸;形状
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:01_040_29;29_045
【页数】:11P;A4
【正文语种】:德语
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