ASTM F 110-1988 用磨角和染色技术测定硅材料外延层或扩散层厚度的试验方法
作者:标准资料网
时间:2024-05-06 08:00:36
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【英文标准名称】:TestMethodforThicknessofEpitaxialorDiffusedLayersinSiliconbytheAngleLappingandStainingTechnique
【原文标准名称】:用磨角和染色技术测定硅材料外延层或扩散层厚度的试验方法
【标准号】:ASTMF110-1988
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1988
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:层;厚度;电子工程;硅;试验
【英文主题词】:electronicengineering;thickness;testing;layers;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:用磨角和染色技术测定硅材料外延层或扩散层厚度的试验方法
【标准号】:ASTMF110-1988
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1988
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:层;厚度;电子工程;硅;试验
【英文主题词】:electronicengineering;thickness;testing;layers;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H80
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:4P;A4
【正文语种】:英语
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